[发明专利]用于气体流量比控制的方法与组件

摘要

方法和气体流量控制组件经配置而将气体以所需流量比输送到处理腔室区。在一些实施方式中，组件包括一或多个MFC和背压控制器(BPC)。组件包括控制器、处理气体源、分配歧管、压力传感器、处理腔室、一或多个质量流量控制器和背压控制器，压力传感器耦接至分配歧管且经配置而感测分配歧管的背压，一或多个质量流量控制器连接于分配歧管与处理腔室之间以控制分配歧管与处理腔室之间的气体流量，背压控制器与一或多个质量流量控制器以流体并联关系设置，其中实现精确的流量比控制。替代实施方式包括上游压力控制器，上游压力控制器经配置而控制载气的流量，以控制背压。作为其他方面本案描述用于控制分区气体流量比的进一步方法与组件。

主权项

1.一种控制气体到处理腔室的流量的方法，包括：提供分配歧管，所述分配歧管流体地耦接至所述处理腔室；提供处理气体源，所述处理气体源流体地耦接至所述分配歧管，所述处理气体源包含上游压力控制器和一或多个处理气体，所述上游压力控制器操作性地耦接至载气，所述一或多个处理气体的流量由一或多个源质量流量控制器控制；提供一或多个质量流量控制器，所述一或多个质量流量控制器流体地耦接于所述处理腔室与所述分配歧管之间；将通过所述一或多个质量流量控制器的各者的气体流量控制于动态可控流量设定点；及通过用所述上游压力控制器控制载气流量来将所述分配歧管的背压控制于背压设定点。