[发明专利]压电薄膜元件在审
| 申请号： | 201780017158.1 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108780840A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 彼得·马迪洛维奇;高松远;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里;特伦特·博尔曼;朱宛琳 | 申请（专利权）人： | 赛尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/318 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 艾娟;郑霞 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种用于制造压电薄膜元件的方法，该压电薄膜元件包括第一电极、第二电极和在其间的一个或更多个压电薄膜，该方法包括通过使用三种溶液的化学溶液沉积形成包括PZT的压电薄膜，其中PZT薄膜的形成包括由三种溶液形成主体PZT薄膜层，其中每种溶液具有不同于任何其它溶液的Zr/Ti含量的Zr/Ti含量，并且至少一种溶液具有大于任何其它溶液的过量铅含量的过量铅含量，使得主体PZT薄膜层在其厚度方向上具有基本上均匀的铅含量和Zr/(Zr+Ti)比率。 | ||
| 搜索关键词： | 压电薄膜元件 压电薄膜 过量 化学溶液沉积 第二电极 第一电极 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造压电薄膜元件的方法，所述压电薄膜元件包括第一电极、第二电极和位于所述第一电极与所述第二电极之间的一个或更多个压电薄膜，所述方法包括通过使用三种溶液的化学溶液沉积形成包括PZT的压电薄膜，其中，所述PZT薄膜的形成包括由所述三种溶液形成主体PZT薄膜层，其中每种溶液具有不同于任何其它溶液的Zr/Ti含量的Zr/Ti含量，并且至少一种溶液具有大于任何其它溶液的过量铅含量的过量铅含量，使得所述主体PZT薄膜层在其厚度方向上具有基本上均匀的铅含量和Zr/(Zr+Ti)比率。
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