[发明专利]压电驱动器有效

专利信息
申请号: 201780017514.X 申请日: 2017-03-15
公开(公告)号: CN108780838B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 哈里·马特;多米尼克·博奇考伊 申请(专利权)人: 物理仪器(PI)两合有限公司
主分类号: H01L41/08 分类号: H01L41/08;H02N2/00;H02N2/02;H02N2/04;H02N2/06
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 德国卡*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的压电步进驱动器(1),包括至少一个压电驱动装置(2),所述压电驱动装置(2)具有可彼此独立地驱动的至少两个驱动部分并且每个驱动部分通过至少两个压电致动器作用,以及当控制电压被施加到致动器时,由两个压电致动器推进的从动构件(3),其中驱动装置(2)大致配置成三角形的形状,在驱动装置(2)的尖端布置有驱动部分,驱动装置(2)与对称平面成镜像对称,该对称平面包括从动构件(3)的前进方向并且在同一驱动装置的驱动部分之间延伸,以及在没有施加到致动器的控制电压的情况下,驱动部分的至少一个偏压从动构件(3)。为了能够更精确地控制从动构件(3)的前进,根据本发明提供了在没有施加到致动器的控制电压的情况下,驱动部分的至少一个偏压在从动构件(3)上,使得驱动部分阻止从动构件(3)的前进,其中驱动部分的每个相对于三角形的基部(201)单独地回弹性安装。
搜索关键词: 压电 驱动器
【主权项】:
1.一种压电步进驱动器(1),包括至少一个压电驱动装置(2),所述至少一个压电驱动装置(2)具有可彼此独立地驱动的至少两个驱动部分(21、22)并且每个所述驱动部分由至少两个压电致动器(213、214、223、224)作用,以及当控制电压施加到所述致动器(213、214、223、224)时由所述驱动部分(21、22)的至少一个推进的从动构件(3),其中所述驱动装置(2)被大致配置成三角形,在其尖端处布置所述驱动部分(21、22),所述驱动装置(2)与包括所述从动构件(3)的前进方向的对称平面成镜像对称并且在同一驱动装置的所述驱动部分(21、22)之间延伸,以及所述驱动部分(21、22)中的至少一个在不存在施加到所述致动器(213、214、223、224)的控制电压的情况下偏压所述从动构件(3),其特征在于,在没有施加到所述致动器(213、214、223、224)的控制电压的情况下,所述驱动部分(21、22)的至少一个偏压所述从动构件(3),使得所述驱动部分阻止所述从动构件(3)的前进,其中所述驱动部分(21、22)的每个相对于所述三角形的基部(201)单独地回弹性安装。
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