[发明专利]动态地配置在质量流量控制器上存储的数据值的系统和方法在审
申请号: | 201780018020.3 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN108779997A | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 贝尔温·巴纳雷斯;克里斯·伊莱克 | 申请(专利权)人: | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
主分类号: | G01F1/76 | 分类号: | G01F1/76;G01F1/78;G05D7/00;G05D7/06;G06F12/02;G06F17/30 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 脱颖 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本公开的实施例包括用于动态地配置在质量流量控制器(MFC)上存储的数据值的系统和方法。在一个实施例中,MFC包括用于接收流体的入口、流动路径、用于提供与通过流动路径的流体的质量流量对应的信号的质量流量传感器,以及用于调节流出MFC的出口的流体的流量的阀。MFC还包括具有流体的流体模型的存储介质和用于配置该流体模型的文件系统。MFC还包括可操作以执行操作的处理器,所述操作包括:接收指令以配置流体模型,获得指示流体模型的变化的MFC数据,以及利用文件系统以用指示流体模型中的变化的MFC数据动态地更新该流体模型。 | ||
搜索关键词: | 流体模型 流体 质量流量控制器 流动路径 文件系统 配置 存储 质量流量传感器 存储介质 接收指令 数据动态 质量流量 可操作 处理器 流出 更新 出口 | ||
【主权项】:
1.一种质量流量控制器,包括:入口,以便于接收流体;流动路径,其中所述流体在所述流动路径中通过所述质量流量控制器;质量流量传感器,以便于提供与通过所述流动路径的所述流体的质量流量相对应的信号;阀,以便于调节流出所述质量流量控制器的出口的所述流体的流量;存储介质,所述存储介质包括:所述流体的流体模型;和文件系统,以便于配置所述流体模型;和处理器,所述处理器可操作以执行指令来执行操作,所述操作包括:接收指令以配置所述流体模型;获得指示所述流体模型的变化的质量流量控制器数据;和利用所述文件系统以用指示所述流体模型中的所述变化的质量流量控制器数据来动态地更新所述流体模型。
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