[发明专利]能够完全关闭的薄膜阀

摘要

本发明揭示一种流体阀(700)，其并入具有流体通道(766)的柱塞(760)。所述柱塞连接到耦合到薄膜(720)的轴毂(724)，此轴毂还包含流体通道(726)且所述柱塞与轴毂流体通道形成流体连通。所述轴毂流体通道贯通到阀腔穴(780)中的所述薄膜的背侧且允许所述阀中的所述薄膜后面的体积的大体上完全加压或抽空。所述薄膜后面的体积的大体上完全加压实现所述薄膜的完全关闭且改进所述薄膜与阀座(712)的接触，借此改进所述阀的性能。

主权项

1.一种阀，其包括：柱塞，其位于阀组合件腔穴中，所述柱塞包括形成于柱塞杆中的柱塞腔穴，及位于所述柱塞中的柱塞流体流动通道，所述柱塞流体流动通道流体连接阀板中的致动流体腔穴及所述柱塞腔穴；薄膜组合件，其位于所述阀组合件腔穴中，所述薄膜组合件包括薄膜及轴毂，所述薄膜组合件固定于所述阀组合件腔穴中的薄膜间隔件与流体块之间，所述薄膜组合件将所述阀组合件中的所述阀腔穴流体分离成处理流体侧及致动流体侧，所述轴毂通过所述薄膜间隔件的通道耦合到所述柱塞杆，所述轴毂包括贯穿其间形成且使所述启动流体腔穴、所述柱塞腔穴及所述阀腔穴的所述致动流体侧流体互连的轴毂流体流动通道。