[发明专利]非水性钨相容性金属氮化物选择性蚀刻剂和清洁剂有效
| 申请号： | 201780019489.9 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN109642159B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | C-p·S·许;S·C-y·邱;C-h·W·韦;M·Y·吴 | 申请（专利权）人： | 安万托特性材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C11D7/50 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈文平;黄海波 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 因此，本文提供了一种新型酸性氟化物活化的清洁化学品。本发明包括新型酸性氟化物活化的、独特的基于有机溶剂的微电子选择性蚀刻剂/清洁剂组合物，其具有高金属氮化物蚀刻和广泛、优异的相容性(包括与钨(W)和低k材料)。其不使用W不相容性氧化剂如过氧化氢或产生颗粒的腐蚀抑制剂。 | ||
| 搜索关键词： | 水性 相容性 金属 氮化物 选择性 蚀刻 清洁剂 | ||
【主权项】：
1.一种用于微电子应用的非水性清洁组合物，包含约0.01％至约5.0％重量的氟化物活化剂、约0.01％至约20.00％重量的至少一种氧化剂、约80.00％至约99.90％重量的无水有机溶剂，其中所述清洁组合物的pH等于或小于5.5，并且其中所述氧化剂不是过氧化氢。
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