[发明专利]基板保持架及镀覆装置有效
| 申请号： | 201780019492.0 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN109072475B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 向山佳孝;横山俊夫;山川纯逸;对马拓也;平尾智则;田村翔;大桥弘尭 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;B65G49/02;C25D17/06;H01L21/683;H05K3/18 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可容易进行基板定位的基板保持架及镀覆装置。基板保持架具有：保持基板的基板保持体；及夹着所述基板保持体而保持的第一保持部件及第二保持部件；所述第一保持部件具有：使所述基板的被镀覆面露出的开口部；及以与所述基板的被镀覆面接触的方式而构成的供电部件。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板保持架，其特征在于，具有：基板保持体，该基板保持体夹着基板的周缘部而保持所述基板；及第一保持部件及第二保持部件，该第一保持部件及第二保持部件夹着所述基板保持体而保持所述基板保持体，所述第一保持部件具有：开口部，该开口部使所述基板的被镀覆面露出；及供电部件，该供电部件以与所述基板的被镀覆面接触的方式构成。
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