[发明专利]化学传感器在审
申请号: | 201780020095.5 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN109073597A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 坪池祥生;原谷进;北川寿美子;菊川隆;柚贺春希 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | G01N27/72 | 分类号: | G01N27/72;G01N33/543 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;沈央 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种可以获得高检测精度的化学传感器。化学传感器(100)的特征在于,具有软磁膜(2)、磁阻效应元件(3)、配置于软磁膜(2)上的第一膜(10)、配置于磁阻效应元件(3)上的第二膜(20),软磁膜(2)配置为,从与软磁膜(2)的膜面垂直的方向观察,其至少一部分不与磁阻效应元件(3)重叠,磁阻效应元件(3)配置为,从与软磁膜(2)的膜面垂直的方向观察,其至少一部分不与软磁膜(2)重叠,第二膜(20)相对于某特定液体的溶解度比第一膜(10)大。 | ||
搜索关键词: | 软磁膜 磁阻效应元件 化学传感器 方向观察 配置 垂直的 膜面 溶解度 检测 | ||
【主权项】:
1.一种化学传感器,其特征在于,具有:软磁膜;磁阻效应元件;第一膜,其配置于所述软磁膜上;第二膜,其配置于所述磁阻效应元件上,所述软磁膜配置为,从与所述软磁膜的膜面垂直的方向观察,其至少一部分不与所述磁阻效应元件重叠,所述磁阻效应元件配置为,从与所述软磁膜的膜面垂直的方向观察,其至少一部分不与所述软磁膜重叠,所述第二膜相对于某特定液体的溶解度比所述第一膜大。
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