[发明专利]抗蚀剂图案被覆用水溶液以及使用了该水溶液的图案形成方法在审
| 申请号： | 201780020372.2 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN109074002A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 西田登喜雄;坂本力丸 | 申请（专利权）人： | 日产化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 马妮楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的课题是提供新的抗蚀剂图案被覆用水溶液。解决手段是一种抗蚀剂图案被覆用水溶液，其包含：A成分：主链具有亚乙基氧单元和碳原子数3的亚烷基氧单元、并且末端具有羟基的共聚物，B成分：水溶性聚合物(其中，上述A成分的共聚物除外)、水溶性单体或水溶性低聚物，和C成分：以水作为主成分的溶剂。上述A成分的共聚物为例如下述式(1)所示的嵌段共聚物。(式中，R1、R2和R3各自独立地表示亚乙基、1,2‑亚丙基或1,3‑亚丙基，x、y和z各自独立地表示5～100的整数。) |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂图案 式( 1 ) 共聚物 亚丙基 水溶性低聚物 水溶性聚合物 亚烷基氧单元 亚乙基氧单元 嵌段共聚物 水溶性单体 碳原子数 图案形成 亚乙基 溶剂 式中 水作 主链 羟基 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂图案被覆用水溶液，其包含：A成分：主链具有亚乙基氧单元和碳原子数3的亚烷基氧单元、并且末端具有羟基的共聚物；B成分：除所述A成分的共聚物以外的水溶性聚合物、水溶性单体或水溶性低聚物；和C成分：以水作为主成分的溶剂。
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