[发明专利]具有改进的屏蔽的静电力检测器以及使用静电力检测器的方法

摘要

一种用于测量被测表面(“SUT”)的静电力的静电力检测器(“EFD”)包括：包含悬臂和探针的力检测器。EFD具有屏蔽件，该屏蔽件具有探针延伸穿过的孔并被定位成防止来自SUT的静电到达悬臂以及探针的大部分，并且防止光到达SUT。一种用于为测量SUT上的电荷的EFD选择电压范围的方法包括：利用EFD在估计的电压范围端点处或估计的电压范围端点附近对两个电压进行测量，以及随后对极性进行对比。如果极性不同，选择估计的电压范围。但是，如果极性相同，则调整估计的电压范围以提供新的估计的电压范围，出于确定SUT上的电荷是否在该范围内的目的，该新的估计的电压范围随后将被测试。

主权项

1.一种用于测量被测表面(“SUT”)的静电力的静电力检测器(“EFD”)，所述EFD包括：(a)力检测器，该力检测器具有悬臂以及探针，所述探针在所述悬臂的支点远端的位置处从所述悬臂延伸出并被定向成使得在所述探针的尖部感应出归因于所述SUT上的静电电荷的静电力；(b)光学系统，该光学系统用于将所述悬臂的归因于在所述尖部感应出的静电力的弯曲变换成包含在所述尖部感应出的所述静电力的频率分量的电信号；(c)电压源，该电压源用于向所述力检测器施加偏置电压；(d)频率检测器，该频率检测器用于检测所述电信号的所述频率分量使得能够获得所述SUT上的静电电荷的测量；以及(e)屏蔽件，该屏蔽件具有限定穿过所述屏蔽件的孔的表面，所述屏蔽件被定位成抑制来自所述SUT的电磁能到达所述悬臂并且防止光到达所述SUT，其中，所述屏蔽件被安置在所述悬臂与所述SUT之间，并且所述探针的一部分延伸穿过所述屏蔽件中的所述孔。