[发明专利]可调节电荷量的等离子体工艺设备有效
| 申请号： | 201780021043.X | 申请日： | 2017-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN108885964B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 黄允硕;许闰成 | 申请（专利权）人： | 发仁首路先株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 关宇辰 |
| 地址： | 韩国京畿道水源市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及可以根据基板的物理性质相应地调节到达基板的等离子体离子等电荷量的等离子体工艺设备。等离子体工艺设备具备电荷测量器和控制部。电荷量测量器是在基板区域测量电荷量。控制部是控制施加于离子源的电源，使从电荷量测量器接收的测量电荷量收敛于基板的最佳电荷量。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 电荷 等离子体 工艺设备 | ||
【主权项】：
1.一种可调节电荷量的等离子体工艺设备，其特征在于，作为等离子体工艺设备，包括：工艺腔体，其内部具有密封空间；基板载具，其在所述工艺腔体内支撑基板；离子源，其位于所述工艺腔体内，生成正离子供应给所述基板；中和器或溅射器阴极，其位于所述工艺腔体内，并生成负离子供应给所述基板；电荷量测量器，其在所述基板区域测量所述正离子或负离子的电荷量；控制部，其控制对所述离子源、中和器、溅射器阴极施加的电源中至少一个，使所述测量电荷量收敛于所述基板的最佳电荷量；所述基板的最佳电荷量是根据所述基板的表面能量算出。
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