[发明专利]用于纳米孔感测的绝缘体-膜-绝缘体装置的晶片级组装有效
| 申请号： | 201780022875.3 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108886053B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 刘栩;张宇宁;W·B·邓巴 | 申请（专利权）人： | 诺玛生物公司 |
| 主分类号： | H01L29/66 | 分类号： | H01L29/66;G01N33/543;B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈文平;黄海波 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述了纳米孔装置以及用于组装纳米孔装置的方法，所述纳米孔装置包括一个或多个纳米孔，所述纳米孔可以用于检测分子，诸如核酸、氨基酸(蛋白质)以及类似者。具体地说，一种纳米孔装置包括绝缘层，所述绝缘层减少电噪声并且由此提高集成在所述纳米孔装置内的所述一个或多个纳米孔的感测分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 孔感测 绝缘体 装置 晶片 组装 | ||
【主权项】：
1.一种测量系统，所述测量系统包括：纳米孔装置，所述纳米孔装置包括：绝缘基板，所述绝缘基板包括形成于所述绝缘基板的表面中的一个或多个流体沟道；盖层，所述盖层包括中心孔洞和多个外孔洞；以及膜层，所述膜层位于所述绝缘基板与所述盖层之间，所述膜层的第一表面结合至所述基板的所述表面，所述膜层包括：一个或多个纳米孔，所述纳米孔各自将所述绝缘基板的所述流体沟道中的一者流体地连接至所述盖层的所述中心孔洞；以及多个孔洞，其中所述膜层中的每个孔洞与所述盖层的所述多个外孔洞中的一者基本上对准。
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