[发明专利]复合退火以及选择性沈积系统

摘要

揭露一种使用退火步骤及沈积步骤来形成膜的系统及方法。所述系统执行用于在聚合物内诱发自组装或对齐的退火步骤。所述系统亦执行选择性沈积步骤以在聚合物上达成选择性沈积。

主权项

1.一种用以选择性地形成膜的系统，包括：第一批量反应室，所述第一批量反应室用以容纳具有至少一个聚合物层的至少一个衬底；加热组件，用以对所述至少一个衬底执行退火步骤；以及气体前体递送系统，所述气体前体递送系统用以藉由将第一前体及第二前体依序地脉冲至所述至少一个衬底上来执行膜沈积，所述膜沈积用以达成至少所述第一前体向所述至少一个聚合物层中的渗透；其中膜或材料形成于所述至少一个聚合物层上；以及其中所述退火步骤及所述膜沈积是在不暴露至周围空气的情况下进行。