[发明专利]树脂组合物、其固化膜及其制造方法以及固体摄像器件有效
| 申请号： | 201780024568.9 | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109071742B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 日比野利保;的羽良典;诹访充史 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | C08F299/08 | 分类号： | C08F299/08;C08G77/20;C08L83/07;G03F7/027;G03F7/075;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;焦成美 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
树脂组合物，其是包含(A)聚硅氧烷和(B)溶剂的树脂组合物，其中，(A)聚硅氧烷包含至少1个以上的下述通式(1)～(3)中任一者表示的部分结构，涂布所述树脂组合物并于100℃干燥3分钟后的膜厚X、与其后于230℃加热5分钟后的膜厚Y的关系为(X‑Y)/X≤0.05。本树脂组合物对凹凸部分的涂布性优异，即使为薄膜也具有优异的平坦化性能。(R |
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| 搜索关键词： | 树脂 组合 固化 及其 制造 方法 以及 固体 摄像 器件 | ||
【主权项】：
1.树脂组合物，其是包含(A)聚硅氧烷的树脂组合物，其中，(A)聚硅氧烷包含至少1个以上的下述通式(1)～(3)中任一者表示的部分结构，(A)聚硅氧烷中包含的苯乙烯基的摩尔量相对于100摩尔％Si原子而言为40摩尔％以上且99摩尔％以下，[化学式1]![]()
R1表示单键或碳原子数1～4的亚烷基，R2表示氢原子或碳原子数1～4的烷基，R3表示有机基团。
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