[发明专利]用于移除和/或避免带电粒子束系统中污染的方法和系统

摘要

公开了一种带电粒子束系统，其包括：带电粒子束发生器，其用于产生带电粒子的射束；带电粒子光学列，其布置在真空腔中，带电粒子光学列被布置成将带电粒子的射束投射到目标上，带电粒子光学列包括影响带电粒子的射束的带电粒子光学元件；提供清洁剂的源；导管，其连接到源并且布置成将清洁剂朝向带电粒子光学元件引入；其中带电粒子光学元件包括：带电粒子传输孔，其用于传输和/或影响带电粒子的射束；以及至少一个通气孔，其在带电粒子光学元件的第一侧和第二侧之间提供流动路径；其中通气孔的横截面大于带电粒子传输孔的横截面。此外，公开了一种用于防止或移除带电粒子传输孔中污染的方法，其包括在射束发生器运行时引入清洁剂的步骤。

主权项

1.一种用于防止或移除带电粒子传输孔的污染的方法，带电粒子传输孔布置在真空腔中的带电粒子束系统中，带电粒子束系统包括用于将带电粒子的射束投射到目标上的带电粒子光学列，所述带电粒子光学列包括用于影响带电粒子的射束的带电粒子光学元件；所述带电粒子光学元件包括用于传输和/或影响所述带电粒子的射束的所述带电粒子传输孔、以及提供从所述带电粒子光学元件的第一侧到第二侧的流动路径的通气孔；所述方法包括以下步骤：‑在带电粒子的射束存在于所述带电粒子光学元件处或附近的情况下，将清洁剂引向所述带电粒子光学元件；以及‑在所述真空腔中保持真空，其中保持真空的步骤包括，使得物质能够至少经由所述通气孔而穿过所述带电粒子光学元件，以流动或移动到连接到所述真空腔的真空泵。