[发明专利]传感器装置，特别是压力传感器

摘要

一种压力传感器装置（1），包括：‑压敏部件（5,5a,6），所述压敏部件具有：传感器本体（5），所述传感器本体包括可弹性变形的膜部分（5a）；以及至少一个检测元件（6），所述检测元件适合于检测膜部分（5a）的变形；‑用于支撑压敏部件（5,5a,6）的支撑结构（2,3），所述支撑结构具有用于压力待测量的流体的通路（15）。支撑结构（2,3）包括：‑支撑本体（2），传感器本体（5）以其膜部分（5a）被暴露于离开通路（15）的流体的方式相对于所述支撑本体被定位，所述支撑本体（2）具有至少一个贯通腔（14），‑可压缩本体（16），所述可压缩本体被构造成用于补偿流体体积的可能的变化。支撑本体（2）具有第一本体部分（2c），所述第一本体部分包括贯通腔（14）的横向壁（22），至少一个第一通道（23a‑23b）和至少一个第二通道（24）被限定在所述横向壁中，所述至少一个第一通道（23a‑23b）属于用于流体的通路（15）。可压缩本体（16）是相对于支撑本体（2）被包覆模制的元件，其具有相应的相对部分（20,21），所述相对部分在对应于横向壁（22）的相对两侧的位置中延伸，并且经由可压缩本体（16）的至少一个中间部分（16a）而彼此连接，所述中间部分延伸穿过至少一个第二通道（24）。第一本体部分（2c）被成形以限定至少一个台阶或一个突出部或一个凸起（25；28），所述台阶或突出部或凸起确定以下中的至少一者：‑至少一个第二通道（24）的截面变窄部，其被构造成限定可压缩本体（16）的至少一个中间部分（16a）的对应截面减小部，以及‑可压缩本体（16）的至少一个中间部分（16a）的发展部，所述发展部是大体曲折的或包括相对于彼此基本上成角度的若干伸展部。