[发明专利]LIGA制造方法在审
| 申请号： | 201780025251.7 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109416511A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王英男;江争 | 申请（专利权）人： | 动力专家有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/04 | 分类号： | G03F7/04;C25D1/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;车文 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香港科学*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 提供一种形成三维微型部件的方法，包括步骤：(i)使用双光子吸收聚合在光致抗蚀剂材料中形成三维(3D)几何轮廓，其中在形成于光致抗蚀剂中的三维几何部分已被烘烤时，所述三维几何轮廓形成限定微型部件的外表面部分的交联的聚合轮廓；以及(ii)应用UV(紫外)聚合工艺，以使与所述三维几何轮廓相邻的光致抗蚀剂的聚合物材料交联。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 几何轮廓 光致抗蚀剂 微型部件 交联 聚合 光致抗蚀剂材料 聚合物材料 双光子吸收 聚合工艺 烘烤 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种形成三维微型部件的方法，所述方法包括步骤：(i)利用双光子吸收聚合在光致抗蚀剂材料中形成三维(3D)几何轮廓，其中在形成于光致抗蚀剂中的三维几何部分已被烘烤时，所述三维几何轮廓形成限定微型部件的外表面部分的交联的聚合轮廓，以及(ii)应用UV(紫外)聚合工艺，以使与所述三维几何轮廓相邻的光致抗蚀剂的聚合物材料交联。
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