[发明专利]用于制备臭氧的方法和用于生成臭氧的设备有效
| 申请号： | 201780025586.9 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN109071225B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·韦尔古尼;马库斯·普夫;帕沃尔·库德拉 | 申请（专利权）人： | 爱普科斯公司 |
| 主分类号： | C01B13/11 | 分类号： | C01B13/11;H01L41/04;H01L41/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;周涛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备臭氧的方法，其中使用压电变压器(1)来生成臭氧。为了生成臭氧，将输入电压施加到压电变压器(1)的输入区域(2)上，使得在压电变压器(1)的输出区域(3)中产生高电压。此外，用含氧的工艺气体包围压电变压器(1)，其中通过在输出区域(3)中产生的高电压由工艺气体形成臭氧。本发明的另一方案涉及一种用于生成臭氧的设备(11)，所述设备具有压电变压器(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 臭氧 方法 生成 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备臭氧的方法，其中使用压电变压器(1)来生成臭氧并且其中所述臭氧通过如下步骤生成：‑将输入电压施加到所述压电变压器(1)的输入区域(2)上，使得在所述压电变压器(1)的输出区域(3)中产生高电压，‑用含氧的工艺气体包围所述压电变压器(1)，其中通过在所述输出区域(3)中产生的高电压由所述工艺气体形成臭氧，‑用传感器(18)测量所产生的臭氧的量，和‑根据所产生的臭氧的所测量到的量来调整施加到所述压电变压器(1)上的输入电压，以调节期望的臭氧生成速率。
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