[发明专利]用于数字光刻的焦点定心方法有效
| 申请号： | 201780026015.7 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109073993B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 叶欣·董;道格拉斯·约瑟夫·万·迪恩·布鲁克;安托尼·P·马内斯;建峰·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开的实施方式总体涉及调整数字光刻系统的聚焦设置。方法包括扫描光刻胶的表面。所述光刻胶形成在基板上。确定数字光刻系统的聚焦设置。在光刻胶上定位多个曝光位置。针对多个聚焦设置测量曝光部的侧壁宽度。响应于确定最小侧壁宽度来调整聚焦设置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 数字 光刻 焦点 定心 方法 | ||
【主权项】：
1.一种调整数字光刻系统的聚焦设置的方法，包括：扫描在基板上形成的光刻胶的表面；确定所述数字光刻系统的聚焦设置，包括：在所述光刻胶上定位多个曝光部；和针对多个聚焦设置测量每个曝光部的侧壁宽度；和响应于确定最小侧壁宽度而调整所述聚焦设置。
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