[发明专利]在显示装置中利用的包含氧化锆的高k介电材料有效
| 申请号： | 201780026052.8 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN109075207B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 芮祥新;赵莱;伊恩·杰里·陈;崔寿永;宇佳·翟 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式总体提供一种形成具有高介电常数以及低膜电流泄漏和期望的膜质量的电容器层或栅极绝缘层以供显示器应用的方法。在一个实施方式中，一种薄膜晶体管结构包括：介电层，在基板上形成，其中介电层是包含铝的含锆材料；和栅极电极、源极电极和漏极电极，在基板上形成，其中栅极电极、源极电极和漏极电极在介电层之上或之下形成。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 利用 包含 氧化锆 材料 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管结构，包括：介电层，在基板上形成，其中所述介电层是包含铝的含锆材料；和栅极电极、源极电极和漏极电极，在所述基板上形成，其中所述栅极电极、源极电极和漏极电极在所述介电层之上或之下形成。
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