[发明专利]用于显示装置中的包含氧化锆的混合高K介电材料膜堆叠有效
| 申请号： | 201780026072.5 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109075208B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 芮祥新;赵莱;伊恩·杰里·陈;崔寿永;宇佳·翟 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式总体提供形成可用作具有高介电常数以及高膜品质的电容器层或栅极绝缘层的混合膜堆叠的方法，以供显示应用。在一个实施方式中，一种薄膜晶体管结构包括形成在基板上的栅极电极、源极电极和漏极电极，和形成在基板上的绝缘层，其中所述绝缘层是具有介电层的混合膜堆叠，所述介电层包括设置在于所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极上方或下方形成的界面层上的含锆材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显示装置 中的 包含 氧化锆 混合 材料 堆叠 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管结构，包括：栅极电极、源极电极和漏极电极，形成在基板上；和绝缘层，形成在基板上，其中所述绝缘层是具有介电层的混合膜堆叠，所述介电层包括设置在于所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极上方或下方形成的界面层上的含锆材料。
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