[发明专利]微LED阵列作为照射源有效
| 申请号： | 201780026100.3 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN109075185B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 建峰·陈;克里斯多弗·丹尼斯·本彻 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L27/15 | 分类号： | H01L27/15;H01L33/58 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开内容的实施方式一般涉及用于执行光刻工艺的设备和系统。更具体地，提供用于将图像投影到基板上的紧凑照射工具。在一个实施方式中，一种照射工具包括微LED阵列，所述微LED阵列包括一个或多个微LED。每个微LED产生至少一个光束。所述照射工具还包括：分束器，与所述微LED阵列相邻；一个或多个耐火透镜部件，与所述分束器相邻；和投影透镜，与所述一个或多个耐火透镜部件相邻。安装板有利地提供具有多个照射工具的系统中的紧凑对准，所述照射工具中的每个是可容易地移除和替换的。 | ||
| 搜索关键词： | led 阵列 作为 照射 | ||
【主权项】：
1.一种照射工具，包括：微LED阵列，其中所述微LED阵列包括一个或多个微LED，其中每个微LED产生至少一个光束；分束器，与所述微LED阵列相邻；一个或多个耐火透镜部件，与所述分束器相邻；和投影透镜，与所述一个或多个耐火透镜部件相邻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780026100.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
