[发明专利]扭转式万花筒式光管在审
| 申请号： | 201780027088.8 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109073994A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | D·马克莱;蒂莫西·N·托马斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文公开的实施方式总体涉及一种用于使光均匀的光管或万花筒式光管，使得一旦光离开光管，光就是均匀的。通过在所述光管内反射光，光均匀性得以提高。在一个实施方式中，提供一种用于图像投影设备的光管。所述光管包括拉长的矩形主体，所述拉长的矩形主体具有在所述拉长的矩形主体内提供全内反射的折射率。所述拉长的矩形主体具有输入面，所述输入面用于接受光进入所述拉长的矩形主体。所述输入面大体上正交于所述拉长的矩形主体的纵向轴线设置。所述拉长的矩形主体具有输出面，所述输出面用于从所述拉长的矩形主体释放光。所述输出面大体上正交于所述纵向轴线设置。所述拉长的矩形主体具有沿着所述纵向轴线的扭转。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形主体 拉长 光管 纵向轴线 输出面 输入面 万花筒式 正交 图像投影设备 光均匀性 全内反射 内反射 扭转式 折射率 扭转 释放 | ||
【主权项】：
1.一种用于将图案成像在基板上的图像投影设备，包括：照射系统，包括：光管，具有拉长的矩形主体，所述拉长的矩形主体具有：输入面，用于接受光进入所述拉长的矩形主体，所述输入面大体上正交于所述拉长的矩形主体的纵向轴线设置；输出面，所述输出面用于从所述拉长的矩形主体释放光，所述输出面大体上正交于所述纵向轴线设置，其中所述拉长的矩形主体具有沿着所述纵向轴线的扭转，使得所述输入面和所述输出面相对于彼此扭转；激光照射装置，邻近所述光管的所述输入面设置；和投影系统，包括：至少一个投影透镜；和光源，所述光源与所述光管耦接。
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