[发明专利]用于测量表面处理设备中的处理流体的至少一个参数的装置和方法在审
| 申请号： | 201780027133.X | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN109073600A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | A·卡特菲迪斯 | 申请（专利权）人： | 艾森曼欧洲公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/22 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 德国博*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于测量表面处理设备(10)中的处理流体(16)的至少一个参数的装置(30)，所述装置具有声表面波测量装置(68)，该声表面波测量装置具有：测量室(32)，该测量室限定用于处理流体(16)的测量体积；以及用于声表面波的转换器(60，62，64，66)，该转换器被布置在测量室(32)上，所述声表面波测量装置被设计为用于，在应用转换器(60，62，64，66)的情况下提供至少一个测量输出信号(MS)，所述至少一个测量输出信号依赖于测量体积中的处理流体(16)的当前的状态。该装置还具有分析单元(50)，该分析单元具有：时间曲线记录装置(74)，其被设计为用于，记录声表面波测量装置(68)的至少一个测量输出信号(MS)的时间曲线；和参数确定装置(76)，其被设计为用于，从声表面波测量装置(68)的测量输出信号(MS)的记录的时间曲线(100)中确定至少一个要测量的参数的值。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波 测量装置 测量输出信号 处理流体 测量 转换器 时间曲线 测量室 表面处理设备 分析单元 参数确定装置 记录装置 记录 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量表面处理设备(10)中的处理流体(16)的至少一个参数的装置(30)，其特征在于a)声波测量装置(68)，所述声波测量装置具有：‑测量室(32)，该测量室限定用于处理流体(16)的测量体积；以及‑用于声波的转换器(60，62，64，66)，该转换器被布置在测量室(32)上，以及‑所述声波测量装置被设计为用于，在应用转换器(60，62，64，66)的情况下提供至少一个测量输出信号(MS)，所述至少一个测量输出信号依赖于测量体积中的处理流体(16)的当前的状态，b)分析单元(50)，所述分析单元具有：‑时间曲线记录装置(74)，所述时间曲线记录装置被设计用于，记录声波测量装置(68)的至少一个测量输出信号(MS)的时间曲线；和‑参数确定装置(76)，所述参数确定装置被设计用于，从声波测量装置(68)的测量输出信号(MS)的记录的时间曲线中确定至少一个要测量的参数的值。
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