[发明专利]使用真空压力控制阀的预测诊断系统和方法有效
| 申请号： | 201780027593.2 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN109154406B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 大卫·布莱恩·张伯伦;弗拉迪斯拉夫·达维德科维奇;斯科特·本尼迪克特;戈登·希尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K51/02 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 王小衡;胡彬 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 校准真空系统中的阀并使用该校准在真空系统中提供诊断指示包括测量根据角度阀位置所述阀的传导率并且生成传导率校准图或函数，以供在阀操作期间使用。基于接收到设定点角度阀位置以及测量出的传导率与相对于角度阀位置的预定义的传导率度量之间的差来设置实际角度阀位置。确定实际系统传导率以及系统的实际系统传导率与参考系统传导率之间的差。基于阀的实际角度阀位置以及系统的实际系统传导率与参考系统传导率之间的差，生成对系统中的故障的诊断指示。 | ||
| 搜索关键词： | 传导率 阀位置 实际系统 参考系统 真空系统 校准 真空压力控制阀 测量 诊断 诊断系统 阀操作 预定义 度量 预测 | ||
【主权项】：
1.一种用于校准真空系统中的阀的方法，所述方法包括：/n测量根据角度阀位置的所述阀的传导率；/n通过将测量出的阀传导率与相对于角度阀位置的预定义的传导率度量进行比较来确定所述阀的传导率图或函数；/n存储传导率校准图或函数以供在所述阀的操作期间使用，其中所述测量出的阀传导率与所述相对于角度阀位置的预定义的传导率度量之间的差被用于确定所述传导率图或函数；/n在操作期间，接收基于所述阀的期望传导率的设定点角度阀位置；并且基于接收到的设定点角度阀位置以及所述测量出的阀传导率与所述相对于角度阀位置的预定义的传导率度量之间的差来设置所述阀的实际角度阀位置；/n确定实际系统传导率并且确定所述系统的实际系统传导率与参考系统传导率之间的差；以及/n生成对所述系统中的故障的诊断指示，所述诊断指示基于所述阀的实际角度阀位置以及所述系统的实际系统传导率与参考系统传导率之间的差；其中，/n如果在低传导率阀中，所述实际角度阀位置相对较低并且所述实际系统传导率大于所述参考系统传导率，则所述诊断指示是所述低传导率阀的挡板密封件被磨损。/n
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