[发明专利]用于光片式地照明样本的装置和方法有效
| 申请号： | 201780027918.7 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN109154716B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·舒曼 | 申请（专利权）人： | 莱卡微系统CMS有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/10 | 分类号： | G02B21/10;G02B21/16;G02B21/36;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 介绍一种用于光片式地照明样本的装置(10)，其包括用于产生照明光束(26)的光源(12)和用于将所述照明光束(26)聚焦成光片式的照明光分支的聚焦系统(14)，利用该照明光分支可对所述样本的聚焦平面(E)照明。该装置(10)还包括用于将光片式的所述照明光分支成像到所述样本的聚焦平面(E)中的成像光学机构(18)和设置在所述聚焦系统(14)和所述成像光学机构(18)之间的偏光部件(16)，该偏光部件用于把所述照明光束(26)分开成两个不同地偏光的部分光束(34、36)，所述部分光束沿不同的传播方向传播到所述成像光学机构(18)中，光片式的所述照明光分支由此可通过所述成像光学机构(18)以两个不同地偏光的光片形式成像，所述光片在所述聚焦平面(E)中彼此叠置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光片式 照明 样本 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光片式地照明样本的装置(10)，包括：用于产生照明光束(26)的光源(12)；和用于将所述照明光束(26)聚焦成光片式的照明光分支的聚焦系统(14)，利用该照明光分支可对所述样本的聚焦平面(E)照明；其特征在于：用于将光片式的所述照明光分支成像到所述样本的聚焦平面(E)中的成像光学机构(18)；和设置在所述聚焦系统(14)和所述成像光学机构(18)之间的偏光部件(16)，该偏光部件用于把所述照明光束(26)分开成两个不同地偏光的部分光束(34、36)，所述部分光束沿不同的传播方向传播到所述成像光学机构(18)中，光片式的所述照明光分支由此可通过所述成像光学机构(18)以两个不同地偏光的光片形式成像，所述光片在所述聚焦平面(E)中彼此叠置。
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