[发明专利]具有分级夹层的溅射靶组件和制造方法在审
| 申请号： | 201780028419.X | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109154073A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·费拉泽;苏珊·D·斯特罗瑟;石新林;黛安·L·莫拉莱斯 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溅射靶组件。该溅射靶组件包括具有后表面的溅射靶、具有前表面的背板，以及设置在靶和背板之间的夹层。该夹层包括第一夹层部分和第二夹层部分，该第一夹层部分靠近靶材料后表面设置，该第二夹层部分靠近背板前表面设置。第一夹层部分由第一混合物形成，所述第一混合物包含第一材料和第二材料并且具有的第一材料的浓度比第二材料的浓度高，并且第二夹层部分由第二混合物形成，所述第二混合物包含第一材料和第二材料并且具有的第二材料的浓度比第一材料的浓度高。还提供了一种制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 夹层 第二材料 第一材料 溅射靶组件 背板 第二混合物 第一混合物 后表面 浓度比 前表面 靶材料 溅射靶 分级 制造 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶组件，包括：溅射靶，所述溅射靶具有后表面；背板，所述背板具有前表面；和夹层，所述夹层设置在所述靶和所述背板之间，所述夹层包括第一夹层部分和第二夹层部分，所述第一夹层部分靠近所述靶材料后表面设置，所述第二夹层部分靠近所述背板前表面设置；其中所述第一夹层部分由第一混合物形成，所述第一混合物包含第一材料和第二材料并且具有的所述第一材料的浓度比所述第二材料的浓度高，并且其中所述第二夹层部分由第二混合物形成，所述第二混合物包含所述第一材料和所述第二材料并且具有的所述第二材料的浓度比所述第一材料的浓度高。
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