[发明专利]基于飞秒激光的超导薄膜上制备微纳米收缩结构的方法有效
| 申请号： | 201780028615.7 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN109362239B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 维贾雅·斯里尼瓦苏·瓦拉巴普拉普;帕特里斯·尤明宁 | 申请（专利权）人： | 南非大学 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;B23K26/362;H01L39/22;B23K26/0622 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;武玥 |
| 地址： | 南非比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种在YBCO薄膜上制备微纳米收缩型结构的方法，所述方法包括利用飞秒激光在薄膜上烧蚀预定图案，以及超导装置，所述超导体装置包括YBCO薄膜，在该YBCO薄膜上通过飞秒激光烧蚀预定图案。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 超导 薄膜 制备 纳米 收缩 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在YBCO薄膜上制备微纳米收缩结构的方法，所述方法包括：用飞秒激光将预定的图案烧蚀到薄膜上。
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