[发明专利]光压印用固化性组合物及使用其的图案形成方法有效
| 申请号： | 201780029089.6 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN109195999B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 伊部武史;矢田真 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08F2/46 | 分类号： | C08F2/46;B29C59/02;C08F299/08;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明要解决的课题在于，提供含有聚硅氧烷等含有硅原子的聚合性化合物、对基板的密合性及在微细图案模具中的脱模性优异、并且模具污染非常少的压印用固化性组合物。通过提供光压印用固化性组合物来解决上述课题，所述光压印用固化性组合物的特征在于，包含：分子中含有硅原子的聚合性化合物(A)、光聚合引发剂(B)和添加剂(C)，前述添加剂(C)为下述式(C1)或下述式(C2)[式(C1)中的R |
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| 搜索关键词： | 压印 固化 组合 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光压印用固化性组合物，其特征在于，包含：分子中含有硅原子的聚合性化合物(A)、光聚合引发剂(B)和添加剂(C)，所述添加剂(C)为下述式(C1)或(C2)所示的化合物，![]()
式(C1)中的R1为碳数12～30的烷基，X1为氢原子或酰基，n为0～50的整数，式(C2)中的X2及X3各自独立地表示氢原子或酰基，p、q、r各自独立地为1～50的整数。
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