[发明专利]用于至少一个对象的光学检测的检测器在审

专利信息
申请号: 201780029760.7 申请日: 2017-04-03
公开(公告)号: CN109564952A 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: S·瓦鲁施;C·朗根施密德;W·赫尔梅斯;R·森德;I·布鲁德 申请(专利权)人: 特里纳米克斯股份有限公司
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101;H01L31/0368;H01L31/0376;G01S7/481;H01L51/42
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 姜利芳;杨晓光
地址: 德国路*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 提供了一种用于精确确定至少一个对象(112)在空间中的位置的简单且仍然可靠的检测器。该检测器包括具有布置在至少两个电极(132,132')之间的至少两个单独的pin二极管(130,130')的堆叠的纵向光学传感器(114)。根据由入射光束(136)对传感器区域的照射,生成纵向传感器信号。给定相同的照射总功率,纵向传感器信号取决于光束(136)的束横截面(188)。该至少两个单独的pin二极管(130,130')具有不同的光谱灵敏度,以便使得能够通过不同光谱范围内的光束(例如,通过在可见光谱范围内和在红外光谱范围内的光束)确定对象和检测器之间的距离。
搜索关键词: 检测器 纵向传感器 照射 传感器区域 光谱灵敏度 光学传感器 光学检测 红外光谱 可见光谱 入射光束 电极 总功率 堆叠 光谱
【主权项】:
1.一种用于至少一个对象(112)的光学检测的检测器(110),包括:‑至少一个纵向光学传感器(114),所述纵向光学传感器(114)具有布置在至少两个电极(132,132')之间的至少两个单独的pin二极管(130,130'),其中所述pin二极管(130,130')中的至少一个pin二极管被指定为用于入射光束(136)的传感器区域(186),其中所述传感器区域(186)被指定为以取决于由所述光束(136)对所述传感器区域(186)的照射的方式生成至少一个纵向传感器信号,其中给定相同的所述照射的总功率,所述纵向传感器信号取决于所述传感器区域(186)中所述光束(136)的束横截面(188),以及‑至少一个评估装置(140),其中所述评估装置(140)被指定为通过评估所述纵向传感器信号来生成关于所述对象(112)的纵向位置的至少一个信息项。
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