[发明专利]可光固化的聚合物、可光固化的聚合物组合物和包括其的光刻工艺

摘要

本发明涉及官能化的聚(芳醚砜)聚合物。本发明进一步涉及包括官能化的聚(芳醚砜)聚合物的聚合物组合物。还进一步地，本发明涉及形成结合了前述聚合物组合物的三维(3D)物体的光刻方法。

主权项

1.一种聚(芳醚砜)(PAES)聚合物，包含：‑式(L)的重复单元(RPAES)：‑至少一个式(M)的端基：其中：‑每个R1独立地选自下组，该组由以下各项组成：卤素、烷基、烯基、炔基、芳基、醚、硫醚、羧酸、酯、酰胺、酰亚胺、碱金属或碱土金属磺酸盐、烷基磺酸酯、碱金属或碱土金属膦酸盐、烷基膦酸酯、胺和季铵；‑每个L1是‑(CH2)n‑CH2‑CH＝CH2或含有其的基团；‑每个i是独立选择的从0至4的整数；‑n是从1至10的整数；‑T选自下组，该组由以下各项组成：键、‑CH2‑；‑O‑；‑SO2‑；‑S‑；‑C(O)‑；‑C(CH3)2‑；‑C(CF3)2‑；‑C(＝CCl2)‑；‑C(CH3)(CH2CH2COOH)‑；‑N＝N‑；‑RaC＝CRb‑，其中Ra和Rb，各自彼此独立地是氢或C1‑C12‑烷基、C1‑C12‑烷氧基、或C6‑C18‑芳基；‑(CH2)m‑和‑(CF2)m‑，其中m是从1至6的整数；直链的或支链的具有最高达6个碳原子的脂肪族二价基团；以及它们的组合。