[发明专利]升华气体供应系统和升华气体供应方法

摘要

提供一种升华气体供应系统，该系统能够稳定待供应的固体材料的升华气体的浓度并且连续供应具有稳定浓度的升华气体。该升华气体供应系统包括容器；用于加热该容器的加热器；真空容器，其被配置为使得当用容器压力计测量的压力是该升华气体的饱和蒸气压时，将升华气体在真空状态下从该容器引入；流量控制单元，用于控制该稀释气体的流量，使得当将该升华气体引入该真空容器中时，基于该真空容器内的压力将该真空容器内的稀释气体中的升华气体的浓度控制为规定浓度；以及引出管线，用于当该稀释气体中的升华气体的浓度达到该规定浓度时，将该升华气体从该真空容器引出到该后处理中。

主权项

1.一种用于将由固体材料产生的升华气体供应到后处理的升华气体供应系统，该系统包括：‑储存固体材料的容器；‑容器加热单元，其加热该容器，使得产生该固体材料的升华气体；‑容器压力计，其测量该容器内的压力；‑真空容器，其被配置为使得当用该容器压力计测量的压力是该升华气体的饱和蒸气压时，将该升华气体在该升华气体的压力处于规定的负压范围内的状态下从该容器引入；‑稀释气体管线，其将稀释气体引入该真空容器中；‑压力计，其测量该真空容器内的压力；‑流量控制单元，其控制该稀释气体的流量，使得当将该升华气体引入该真空容器中时，基于该真空容器内的压力将该真空容器内的稀释气体中的升华气体的浓度控制为规定浓度；‑引出管线，当该稀释气体中的升华气体的浓度达到该规定浓度时，该引出管线将该升华气体从该真空容器引出到该后处理中；和‑真空泵，其使该真空容器处于真空状态。