[发明专利]包括混合调谐网络的阻抗匹配系统

摘要

eVC包括粗调谐网络和细调谐网络。粗调谐网络包括电路用于：从RF发生器接收RF输入信号；将RF输出信号输出到参考端子或负载；以及接收DC偏置电压。电路在第一状态和第二状态之间切换。电路的电容在处于第一状态时是基于DC偏置电压，并且在处于第二状态时不基于DC偏置电压。细调谐网络并联连接到粗调谐网络并且包括可变电抗器。可变电抗器包括：接收RF输入信号的第一二极管；以及与第一二极管以背对背配置连接、并将RF输出信号输出到参考端子或负载的第二二极管。可变电抗器的电容是基于第二接收的DC偏置电压的。

主权项

1.一种第一电子可变电容，包括：粗调谐网络，包括可切换电路，所述可切换电路被配置为(i)从等离子体处理系统的射频(RF)发生器接收第一RF输入信号，(ii)将第一RF输出信号输出到参考端子或负载，以及(iii)接收第一直流(DC)偏置电压，其中所述可切换电路被配置为在第一状态和第二状态之间切换，并且其中在处于所述第一状态时，所述可切换电路的电容基于所述第一DC偏置电压，并且在处于所述第二状态时，所述可切换电路的电容不基于所述第一DC偏置电压；以及细调谐网络，与所述粗调谐网络并联连接，所述细调谐网络包括背对背二极管可变电抗器，其中所述背对背二极管可变电抗器被配置为接收第二DC偏置电压并且包括：第一二极管，被配置为接收所述第一RF输入信号，以及第二二极管，以背对背配置与所述第一二极管连接并且被配置为将第二RF输出信号输出到所述参考端子或所述负载，其中所述背对背二极管可变电抗器的电容基于所述第二DC偏置电压。