[发明专利]用于制作层的方法

摘要

本发明涉及一种用于制作成分AA’BO3的层的方法，其中，A由从以下元素选择的至少一种元素构成：Li、Na、K、Ca、Mg、Ba、Sr、Pb、La、Bi、Y、Dy、Gd、Tb、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Ho、Zr、Sc、Ag、Tl，并且B由从以下元素选择的至少一种元素构成：Nb、Ta、Sb、Ti、Zr、Sn、Ru、Fe、V、Sc、C、Ga、Al、Si、Mn、Zr、Tl，该方法的特征在于：该方法包括以下步骤：‑提供成分ABO3的施主衬底(100)；‑通过减薄所述施主衬底(100)形成成分ABO3的层(10)；‑在所述减薄步骤之前和/或之后，将所述成分ABO3的层(10)露出于介质(M)，该介质含有与A属于同一元素列表的元素A’的离子，A’与A不同，使得所述离子渗透到所述层(10)中以形成成分AA’BO3的层。

主权项

1.一种用于制作成分AA’BO₃的层的方法，其中，A由从以下元素选择的至少一种元素构成：Li、Na、K、Ca、Mg、Ba、Sr、Pb、La、Bi、Y、Dy、Gd、Tb、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Ho、Zr、Sc、Ag、Tl，并且B由从以下元素选择的至少一种元素构成：Nb、Ta、Sb、Ti、Zr、Sn、Ru、Fe、V、Sc、C、Ga、Al、Si、Mn、Zr、Tl，该方法的特征在于：该方法包括以下步骤：‑提供成分ABO₃的施主衬底(100)；‑通过减薄所述施主衬底(100)形成成分ABO₃的层(10)；‑在所述减薄步骤之前和/或之后，将所述成分ABO₃的层(10)露出于介质(M)，该介质含有与A属于同一元素列表的元素A’的离子，A’与A不同，使得所述离子渗透到所述层(10)中以形成成分AA’BO₃的层。