[发明专利]利用结合电场的紧凑型微波等离子体施加器有效
| 申请号： | 201780032741.X | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN109155229B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 穆罕默德·卡马雷希;胡朝林;奥利维亚·凯勒 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;胡彬 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种等离子体施加器包括等离子体放电管和至少部分地环绕等离子体放电管的一部分的微波腔。微波能量经由耦合膜片耦合到微波腔。微波腔的至少两个正交维度被选择为使得微波腔中的微波能量在横电(TE)模式下传播。从微波能量生成的主电场与从耦合膜片生成的消逝电场进行组合，使得微波腔中的组合电场沿等离子体放电管的纵轴基本上是均匀的。多个径向微波扼流圈被设置在等离子体放电管的外部上方。微波扼流圈的位置使得在TE模式和横电磁(TEM)模式下传播的微波能量被衰减。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 结合 电场 紧凑型 微波 等离子体 施加 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体施加器，包括：等离子体放电管，在该等离子体放电管中能够生成等离子体，所述等离子体放电管具有用于允许等离子体处理气体进入所述等离子体放电管的处理气体入口，所述等离子体放电管具有纵轴；微波腔，该微波腔至少部分地环绕所述等离子体放电管的一部分；以及耦合膜片，在该耦合膜片处微波能量能够被耦合到所述微波腔，使得所述微波能量能够在所述等离子体放电管的所述部分中生成等离子体；其中，所述微波腔具有三个正交维度，包括长度、宽度和高度，所述正交维度中的至少两个被选择为使得所述微波腔中的微波能量在横电(TE)模式下传播。
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