[发明专利]氢化且富含三氟化硼同位素的掺杂剂来源的气体组合物有效
| 申请号： | 201780033136.4 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109195910B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | S·毕晓普;S·N·叶达弗;O·布莱;J·斯威尼;唐瀛 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C01B35/06 | 分类号： | C01B35/06;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 顾晨昕 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种氢化且富含三氟化硼(BF |
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| 搜索关键词： | 氢化 富含 氟化 同位素 掺杂 来源 气体 组合 | ||
【主权项】：
1.一种氢化且富含三氟化硼(BF3)同位素的掺杂剂来源气体组合物，所述组合物包含(i)三氟化硼，其富含高于天然丰度的同位素原子质量11的硼(11B)；和(ii)氢气，以所述组合物中三氟化硼和氢气的总体积计，所述氢气的量是2体积％到6.5体积％。
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