[发明专利]表面检查系统和表面检查方法

摘要

本发明涉及一种表面检查系统（10），用于检查出现在检查区域（20）的板材元件（4）的表面，该表面检查系统（10）包括图像评估单元（18）、相机（12）、暗场照明器（14）和明场照明器（16），该图像评估单元（18）适于把在暗场照明条件下获取的线图像减去在明场照明条件下获取的线图像。本发明还涉及一种识别正在移动通过板材元件加工机的板材元件（4）的高反射表面区域的方法，其中首先在明场照明条件下获取在观看区域（20）里的板材元件（4）的表面的线图像（l16），以及在暗场照明条件下获取在观看区域（20）里的板材元件（4）的相同表面的线图像（l14），然后比较两张线图像（l14,l16），例如彼此相减，如果两张线图像（l14,l16）之间的差异（Sn）高于预定阈值，则该板材元件（4）的表面被识别为反射表面。

主权项

1.一种表面检查系统（10），所述表面检查系统（10）用于检查出现在检查区域（20）的板材元件（4）的表面，所述表面检查系统（10）包括影像评估单元（18）、相机（12）、暗场照明器（14）和明场照明器（16），所述影像评估单元（18）适于把在暗场照明条件下获取的线图减去在明场照明条件下获取的线图。