[发明专利]工作台系统、光刻装置和器件制造方法

摘要

本发明涉及工作台系统、光刻装置和用于制造使用工作台系统的器件的方法。在工作台系统(1)中，提供一种定位系统，其包括适于定位载物台(2)的致动器(10)。致动器包括磁体组件(20)和线圈组件(11)。磁体组件包括第一磁体(21)和第二磁体(22)，它们在使用中经受内磁力。磁体组件具有分离的接口(23、24)，用于将每个磁体分别连接至载物台。磁体组件还包括间隔器件(25、26)，其至少在内磁力的方向上将第一和第二磁体彼此保持相对距离。

主权项

1.一种用于定位物体的工作台系统，所述工作台系统包括：‑载物台，适于支持将被定位的物体；‑定位系统，适于定位所述载物台，所述定位系统包括适于在致动方向上定位所述载物台的致动器，其中所述致动器包括磁体组件和线圈组件，所述磁体组件包括第一磁体和第二磁体，所述第一磁体和所述第二磁体在使用中经受内磁力，其中所述线圈组件至少部分地在所述第一磁体和所述第二磁体之间延伸，从而在使用中在所述致动方向上生成力，其中所述磁体组件被设置有第一接口和第二接口，所述第一接口适于将所述第一磁体连接至所述载物台，并且所述第二接口适于将所述第二磁体连接至所述载物台，并且其中所述磁体组件还包括间隔器件，所述间隔器件适于至少在所述内磁力的方向上保持所述第一磁体和所述第二磁体彼此相距相对距离。