[发明专利]压电封装集成的化学物种敏感的谐振装置在审
申请号: | 201780034073.4 | 申请日: | 2017-05-02 |
公开(公告)号: | CN109155621A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | S.N.奥斯特;F.艾德;G.C.多贾米斯;T.L.索纳特;A.A.埃尔舍比尼;J.M.斯万;S.M.利夫 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H03H9/10 | 分类号: | H03H9/10 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 徐予红;杨美灵 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明的实施例包括一种化学物种敏感的装置,所述化学物种敏感的装置包括用来接收输入信号的输入换能器、耦合至输入换能器并且被安置在有机衬底的腔附近的基础结构、附着于基础结构的化学敏感的功能化材料以及用来生成输出信号的输出换能器。针对化学感测功能性,期望的化学物种附着于引起基础结构的质量的变化的化学敏感的功能化材料并且这个质量的变化引起化学物种敏感的装置的机械谐振频率的变化。 | ||
搜索关键词: | 化学物种 敏感 基础结构 功能化材料 输入换能器 附着 机械谐振频率 接收输入信号 输出换能器 封装集成 输出信号 谐振装置 有机衬底 耦合 感测 压电 期望 安置 | ||
【主权项】:
1.一种化学物种敏感的装置,所述化学物种敏感的装置包括:用来接收输入信号的输入换能器;耦合至所述输入换能器并且被安置在有机衬底的腔附近的基础结构;附着于所述基础结构的化学敏感的功能化材料;以及用来生成输出信号的输出换能器,其中针对化学感测功能性,期望的化学物种附着于引起所述基础结构的质量的变化的所述化学敏感的功能化材料并且这个质量的变化引起所述装置的机械谐振频率的变化。
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