[发明专利]谐振器和谐振装置有效
申请号: | 201780034355.4 | 申请日: | 2017-06-27 |
公开(公告)号: | CN109478876B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 后藤雄一;福光政和 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/24 | 分类号: | H03H9/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供谐振器和谐振装置。抑制在保持部上的绝缘体层带电的电荷对谐振频率造成的影响。谐振器具备:振动部,具有压电膜、设置为将该压电膜夹持在中间并对置的下部电极和上部电极,上述振动部以规定的振动模式进行振动;保持部,至少设置于振动部的振动的位移成为最大的位移最大区域的周围,并具有绝缘膜;保持臂,对振动部与保持部进行连接;和导电部,形成为在保持部中的至少与振动部的位移最大区域对置的区域中,与保持部的绝缘膜连接,导电部与下部电极或者上述上部电极电连接,或者被接地。 | ||
搜索关键词: | 谐振器 谐振 装置 | ||
【主权项】:
1.一种谐振器,具备:振动部,具有压电膜、设置为将该压电膜夹持在中间并对置的下部电极和上部电极,所述振动部以规定的振动模式进行振动;保持部,至少设置于所述振动部的振动的位移最大的位移最大区域的周围,并具有绝缘膜;保持臂,对所述振动部与所述保持部进行连接;和导电部,形成为在所述保持部中的至少与所述振动部的所述位移最大区域对置的区域,与所述保持部的所述绝缘膜连接,所述导电部与所述下部电极和所述上部电极的任一者电连接,或者被接地。
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