[发明专利]粒子检测装置及粒子检测装置的控制方法有效
| 申请号： | 201780034905.2 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN109313118B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 衣笠静一郎 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/14 | 分类号： | G01N15/14;G01N15/06 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种粒子检测装置，其具备：腔室(30)；第一导入流路(225)，其用于将包含粒子的流体导入腔室(30)内；第二导入流路(235)，其用于将粒子被除去了的流体导入腔室(30)内；光源(10)，其为了检测包含于流体中的粒子而对腔室(30)内的流体照射光；排出流路(260)，其用于从腔室(30)排出流体；导入流量计(245)，其计量在第二导入流路(235)流动的流体的流量；以及控制部(301)，其以在第一导入流路(225)流动的流体的规定的流量与导入流量计(245)所计量的在第二导入流路(235)流动的流体的流量的合计流量的流体在排出流路(260)流动的方式进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 检测 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种粒子检测装置，其特征在于，具备：腔室；第一导入流路，其用于将包含粒子的流体导入所述腔室内；第二导入流路，其用于将粒子被除去了的流体导入所述腔室内；检测器，其对所述腔室内的所述流体照射光，并检测包含于所述流体中的粒子；排出流路，其用于从所述腔室排出流体；导入流量计，其计量在所述第二导入流路流动的流体的流量；以及控制部，其以在所述第一导入流路流动的流体的规定的流量与所述导入流量计所计量的流量的合计流量的流体在所述排出流路流动的方式进行控制。
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