[发明专利]光检测单元、光检测装置及光检测单元的制造方法有效
申请号: | 201780035338.2 | 申请日: | 2017-05-30 |
公开(公告)号: | CN109313072B | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 土屋龙太郎;永野辉昌;辻悠太;河合刚;大桑勇树 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02;G01J1/42;H01L27/146 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;沈娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的光检测单元具备:第1配线基板,其具有第1主面;多个光检测芯片,其具有受光面及所述受光面的相反侧的背面,且在所述第1主面上呈二维状地排列;第1凸块电极,其将所述光检测芯片电连接于所述第1配线基板;光透射部,其设置在所述受光面上;及光遮蔽部,其具有光反射性或光吸收性;且所述光检测芯片包含盖革模式APD,在所述背面与所述第1主面相对的状态下利用所述第1凸块电极安装于所述第1配线基板上;所述光遮蔽部在自与所述第1主面交叉的第1方向观察下,在位于彼此相邻的所述光检测芯片之间的中间区域内,设置于至少较所述受光面更靠近所述光透射部一侧。 | ||
搜索关键词: | 检测 单元 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光检测单元,其具备:第1配线基板,其具有第1主面;多个光检测芯片,其具有受光面及所述受光面的相反侧的背面,且在所述第1主面上呈二维状地排列;第1凸块电极,其将所述光检测芯片电连接于所述第1配线基板;光透射部,其设置在所述受光面上;及光遮蔽部,其具有光反射性或光吸收性,且所述光检测芯片包含盖革模式APD,在所述背面与所述第1主面相对的状态下利用所述第1凸块电极安装于所述第1配线基板上,并且从与所述第1主面交叉的第1方向观察,在位于彼此相邻的所述光检测芯片之间的中间区域内,所述光遮蔽部设置于至少较所述受光面更靠近所述光透射部一侧。
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