[发明专利]具有张紧膜的压力传感器有效
| 申请号： | 201780035704.4 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN109313096B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | S·施密特;W·A·戴;黄文凯 | 申请（专利权）人： | 艾尔弗雷德·伊·曼科学研究基金会 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/04;G01L19/14;G01L19/06 |
| 代理公司： | 北京世峰知识产权代理有限公司 11713 | 代理人： | 卓霖;许向彤 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了具有环张紧膜的压力传感器。张紧环以以下方式黏合到膜，该方式导致张紧环向膜施加张力，使膜平坦，并且减少或消除在生产期间可能已经出现的缺陷。膜在张紧环外部的点处黏合到传感器壳体，这防止将膜黏合到壳体的过程将缺陷引入到膜的张紧部分中。可以将电介质引入到在电容压力传感器中的膜与对电极之间的间隙中，这产生改进的动态范围。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 张紧膜 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，该压力传感器包括：壳体，该壳体具有开口；膜，该膜在所述开口处耦合到所述壳体；张紧环，该张紧环耦合到所述膜，被构造为向所述膜施加张力；以及所述壳体中的传感器电路，该传感器电路被构造为基于所述膜的偏转生成压力信号。
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