[发明专利]镀覆装置以及镀覆方法

摘要

对通过镀覆处理而形成的镀膜的膜厚偏差进行抑制。镀覆装置(100)具备：镀覆槽(10)、和对被镀覆物(2)实施电解镀覆的镀覆部(20)。镀覆部(20)具备：被镀覆物通过区域(23)，至少一部分被使镀覆液(1)通过而不使被镀覆物(2)通过的分隔壁(22)包围，使被镀覆物(2)从上方向下方通过；喷射部(24)，从下方向上方喷射镀覆液(1)；混合部(25)，由喷射部(24)喷射出的镀覆液(1)与通过被镀覆物通过区域(23)的被镀覆物(2)混合；阳极(21)，被配设于被镀覆物通过区域(23)的外侧；阴极(26)，被配设于被镀覆物通过区域(23)的内侧，具有镀覆液(1)与被镀覆物(2)的混合流体(3)从下方向上方通过的中空区域(26a)；和引导部(27)，将通过中空区域(26a)的混合流体(3)引导至被镀覆物通过区域(23)。

主权项

1.一种镀覆装置，其特征在于，具备：镀覆槽，存积镀覆液；和镀覆部，被设置于所述镀覆槽的内部，对被镀覆物实施电解镀覆，所述镀覆部具备：被镀覆物通过区域，至少一部分被使所述镀覆液通过而不使所述被镀覆物通过的分隔壁包围，使所述被镀覆物从上方向下方通过；喷射部，将所述镀覆液从下方向上方喷射；混合部，被配设于比所述喷射部更靠上方并且比所述被镀覆物通过区域更靠下方的位置，由所述喷射部喷射出的所述镀覆液与通过所述被镀覆物通过区域的所述被镀覆物混合；阳极，被配设于所述被镀覆物通过区域的外侧；阴极，被配设于所述被镀覆物通过区域的内侧，具有由所述混合部混合的所述镀覆液与所述被镀覆物的混合流体从下方向上方通过的中空区域；和引导部，将通过所述阴极的所述中空区域的所述混合流体引导至所述被镀覆物通过区域。