[发明专利]等离子体处理装置

摘要

提供一种能够实现缩短返回电流路径和确保对称性的等离子体处理装置。本发明的一实施方式涉及的等离子体处理装置具备腔室主体、载物台、高频电极、多个接地部件、可动单元。上述腔室主体具有侧壁，所述侧壁的一部分包括能够使基板通过的开口部。上述多个接地部件配置在上述载物台的周围，电连接上述侧壁与上述载物台之间。上述可动单元具有支撑体，所述支撑体支撑作为上述多个接地部件的一部分的第一接地部件。上述可动单元构成为，能够使上述支撑体在上述第一接地部件间隔上述开口部而与上述开口部的内周面对置的第一位置和上述第一接地部件电连接于上述内周面的第二位置之间移动。

主权项

1.一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：腔室主体，具有侧壁，该侧壁的一部分包括能够使基板通过的开口部；载物台，具有能够支撑所述基板的支撑面，并设置在所述腔室主体的内部；高频电极，以与所述支撑面对置的方式配置，产生处理气体的等离子体；多个接地部件，配置在所述载物台的周围，电连接所述侧壁和所述载物台之间；可动单元，具有支撑体，该支撑体支撑作为所述多个接地部件的一部分的第一接地部件，所述可动单元能够使所述支撑体在第一位置与第二位置之间沿着与所述支撑面正交的轴方向移动，所述第一位置是使所述第一接地部件隔着所述开口部而与所述开口部的内周面对置的位置，所述第二位置是使所述第一接地部件与所述内周面电连接的位置。