[发明专利]具有集成高对比度光栅偏振器的光电检测器设备有效

专利信息
申请号: 201780037616.8 申请日: 2017-06-13
公开(公告)号: CN109496364B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 延斯·霍弗里希特;扬·埃嫩克尔 申请(专利权)人: AMS有限公司
主分类号: H01L31/0232 分类号: H01L31/0232
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 奥地利普*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 光电检测器包括:半导体材料的衬底(1);衬底中的传感器区域(2);布置在传感器区域上方彼此相隔距离(d)的多个栅格元件(4),栅格元件具有折射率;低折射率区域(3),布置在低折射率区域上的栅格元件;以及覆盖栅格元件的另外的低折射率区域(5)。
搜索关键词: 具有 集成 对比度 光栅 偏振 光电 检测器 设备
【主权项】:
1.一种光电检测器设备,包括:‑半导体材料的衬底(1),‑衬底(1)中的传感器区域(2),用于检测电磁辐射,‑多个栅格元件(4),其布置在传感器区域(2)的上方,彼此相隔距离(d),所述栅格元件(4)具有折射率,‑低折射率区域(3、6),所述栅格元件(4)布置在所述低折射率区域(3、6)上,以及‑另外的低折射率区域(5、15),其覆盖栅格元件(4)。
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