[发明专利]使用固体碘化铝(AlI3)的注入制造原子铝离子及碘化铝与相关副产物的原位清洁有效
| 申请号： | 201780038118.5 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109312451B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 丹尼斯·卡梅尼察;理查德·雷舒特;费尔南多·席尔瓦;杰森·贝灵哲;吴向阳 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子注入系统(101)，包括配置成由碘化铝形成离子束(116)的离子源(108)。束线总成选择性将离子束输送到配置成接受该离子束以将铝离子注入工件(128)中的终端站(106)。离子源可具有固态材料源(112)，该固态材料源具有固体形式的碘化铝。固体源蒸发器(146)可配置成蒸发碘化铝，界定气态碘化铝。电弧腔室(114)可由气态碘化铝形成等离子体，其中来自电源(110)的电弧电流配置成从碘化铝中离解铝离子。一个或多个引出电极(118)可配置成从电弧腔室中引出离子束。任选地，水蒸汽源(150)进一步引入水与残余碘化铝反应形成氢碘酸，其中从系统中排空残余碘化铝和氢碘酸。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 固体 碘化 ali3 注入 制造 原子 离子 相关 副产物 原位 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入系统的离子源，包括：固态材料源，其包括固体形式的碘化铝；固体源蒸发器，其配置成蒸发碘化铝，从而界定气态碘化铝；电源；电弧腔室，其配置成由气态碘化铝形成等离子体，其中来自所述电源的电弧电流配置成从碘化铝离解铝离子；以及一个或多个引出电极，其配置成从所述电弧腔室中引出离子束，其中所述离子束由铝离子组成。
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