[发明专利]用于将液体涂层涂敷到基板的方法

摘要

本文公开了用于将液体涂层涂敷到基板(12)的方法。一种示例性方法包括流动控制例程，其中迭代地调节涂敷器的速度或影响涂敷到基板的材料量的其它参数。跟踪在每次迭代中执行的调节量。当流动控制例程的调节的总和超过预定阈值时，开始扇形部宽度控制例程，其中调节由涂敷器涂敷的材料流的扇形部宽度。

主权项

1.一种将材料涂敷到基板的方法，所述方法包括：使用涂敷器用所述材料涂覆第一基板；响应于用所述材料涂覆所述第一基板的完成，确定涂敷到所述第一基板的第一总材料量；将涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量与第一预定控制范围进行比较；响应于涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量与所述第一预定控制范围的所述比较，确定涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量是否在所述第一预定控制范围之外；响应于确定出涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量在所述第一预定控制范围之外，将所述涂敷器的速度、所述涂敷器的脉冲速率或所述材料的温度调节第一调节量，以改变涂敷到随后第二基板的总材料量；使用所述涂敷器用所述材料涂覆所述第二基板；响应于用所述材料涂覆所述第二基板的完成，确定涂敷到所述第二基板的第二总材料量；将涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量与所述第一预定控制范围进行比较；响应于涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量与所述第一预定控制范围的所述比较，确定涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量是否在所述第一预定控制范围之外；响应于确定出涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量在所述第一预定控制范围之外，将所述涂敷器相对于基板的速度、所述涂敷器的脉冲速率或者涂敷到基板的所述材料的温度调节第二调节量，以改变涂敷到随后基板的总材料量；将所述第一调节量和所述第二调节量求和以确定总调节量；将所述总调节量与预定阈值进行比较；响应于所述总调节量与所述预定阈值的所述比较，确定所述总调节量是否大于所述预定阈值；以及响应于确定出所述总调节量大于所述预定阈值，调节供应到所述涂敷器的所述材料的压力或所述涂敷器的扇形部宽度。