[发明专利]探针的制造方法和探针有效
| 申请号： | 201780038786.8 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109416326B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 西正之;平尾一之;寺西大介;板坂浩树;中庸行;奥野义人;柏木伸介;中田靖 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人京都大学;株式会社堀场制作所 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;C23C18/54;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供使探针的制造简单并能适当控制金属结构体的尺寸和形状的探针的制造方法和探针。针状体(13)从Si制的悬臂(11)突出。此外，在悬臂(11)的背面覆盖有费米能级比Si高的铝(第一金属)。将悬臂(11)浸渍在含有作为第二金属的Ag的离子的硝酸银水溶液(3)中。因铝的存在，Si的电子向硝酸银水溶液(3)流出，在针状体(13)的尖端析出Ag纳米结构体。制造出针状体(13)的尖端固定有Ag纳米结构体的尖端增强拉曼散射用的探针(12)。通过调整硝酸银水溶液(3)的浓度和将悬臂(11)浸渍在硝酸银水溶液(3)中的时间，可以适当控制Ag纳米结构体的尺寸和形状。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针的制造方法，其是制造从悬臂突出的探针的方法，所述探针的制造方法的特征在于，通过将所述悬臂浸渍在含有第二金属的离子的溶液中，制造在针状体的尖端析出有所述第二金属的结构体的探针，所述悬臂由半导体构成，一部分被费米能级比所述半导体的费米能级高的第一金属覆盖，并且所述针状体从另一部分突出。
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