[发明专利]电光有源装置有效
| 申请号： | 201780038803.8 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109564361B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 余国民;张毅;A.齐尔基 | 申请（专利权）人： | 洛克利光子有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/017 | 分类号： | G02F1/017;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;闫小龙 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基于硅的电光有源装置及其生产方法，所述装置包括：绝缘体上硅(SOI)波导；在所述SOI波导的空腔内的电光有源堆叠；以及在所述电光有源堆叠与所述SOI波导之间的通道；其中所述通道由填充材料填充，所述填充材料的折射率大于形成所述空腔的侧壁的材料的折射率，以在所述通道中在所述SOI波导与所述电光有源堆叠之间形成桥波导。 | ||
| 搜索关键词： | 电光 有源 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于硅的电光有源装置，其包括：绝缘体上硅(SOI)波导；电光有源波导，其包括在所述SOI波导的空腔内的电光有源堆叠；以及在所述电光有源堆叠与所述SOI波导之间的通道；其中所述通道由填充材料填充，所述填充材料的折射率大于形成所述空腔的侧壁的材料的折射率，从而在所述通道中在所述SOI波导与所述电光有源堆叠之间形成桥波导。
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